PFA清洗槽又被称为防腐蚀槽、酸洗槽、溢流槽、纯水槽、浸泡槽、水箱、滴流槽,是四氟清洗桶后的升级款,是为半导体光伏光电等行业设计,一体成型,无需担心漏液。主要用于浸泡、清洗带芯片硅片电池片的花篮。
由于PFA的特点它能耐受清洗溶液的腐蚀性,同时金属元素空白值低,无溶出无析出,不会污染芯片晶圆,槽体容量:15L 外尺寸:300*210*240mm 盖子:340*240*45mm
半导体晶圆清洗槽尺寸可按要求定做。同时配套同款PFA盖子,防止污染。
特点:
1、外观半透明,易观察槽内试剂情况;
2、耐高低温:-200~+260℃
3、耐腐蚀:耐强酸、强碱、王水、HF和各种有机溶剂;
4、耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;
5、防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;
6、无溶出和析出,不会污染芯片、晶圆、硅片等;
8、化学性能稳定,可恢复性好,不易变形;
9、特氟龙塑料,经久耐用,不易碎