湿法蚀刻酸洗槽—— 应用半导体新能源光伏光电行业

PFA清洗槽又被称为防腐蚀槽酸洗槽溢流槽纯水槽浸泡槽水箱、滴流槽,是四氟清洗桶后的升级款,是为半导体光伏光电等行业设计,一体成型,无需担心漏液。主要用于浸泡、清洗带芯片硅片电池片的花篮。

由于PFA的特点它能耐受清洗溶液的腐蚀性,同时金属元素空白值低,无溶出无析出,不会污染芯片晶圆,槽体容量:15L   外尺寸:300*210*240mm 盖子:340*240*45mm

半导体晶圆清洗槽尺寸可按要求定做。同时配套同款PFA盖子,防止污染。

特点:

1、外观半透明,易观察槽内试剂情况;

2、耐高低温:-200~+260℃

3、耐腐蚀:耐强酸、强碱、王水、HF和各种有机溶剂;

4、耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;

5、防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;

6、溶出和析出,不会污染芯片、晶圆、硅片等;

8、化学性能稳定,可恢复性好,不易变形;

9特氟龙塑料,经久耐用,不易碎

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