IC后端设计中的shrink系数设置方法

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在一些成熟的工艺节点通过shrink的方式(光照过程中缩小特征尺寸比例)得到了半节点,比如40nm从45nm shrink得到,28nm从32nm shrink得到,由于半节点的性能更优异,成本又低,漏电等不利因素也可以通过工艺参数调节,导致pre shrink的工艺节点无人问津,这篇文章我们仅统计在数字后端设计中scale factor的设置方法。

一般scale factor都是在RC model(itf、tluplus、nxtgrd等)文件中设置好的,但不排除一些工艺使用的与pre shrink工艺相同的规则文件,需要人为在后端环境中手动设置,RC model文件中设置好后,环境中

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